全书涵盖了从真空技术、蒸发镀膜法、溅射沉积法等传统薄膜制备技术，到电子薄膜生长理论、常见表征方法、新型薄膜材料的开发与应用等多个方面。在第十章中，重点讨论了电子薄膜技术在微电子、集成电路、能源电子、超导以及柔性电子等领域中的最新应用与发展。