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传感器与MEMS技术导论
定 价:448 元
作者:范茂军著
出版时间:2024/7/1
ISBN:9787118133998
出 版 社:国防工业出版社
中图法分类:
TP212
页码:147页
纸张:
版次:1
开本:24cm
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读者对象
:传感器技术人员
内容简介
本书按照材料、基本概念、专业知识的分类。将说涉及应该简要讲解的内容共写成12章。内容包括敏感材料和与物理效应,传感器的分类、特性与建模仿真,力、扭矩与惯性传感器原理与结构设计,热工量中压力、流量、温度的测量与传感器原理与结构设计,光、辐射与图像传感器原理与结构设计,磁学传感器原理与结构设计,声学量传感器原理与结构设计,化学、电化学与气体传感器原理与结构设计,生物与离子传感器原理与结构设计,机器人传感器原理与结构设计,微系统MEMS工艺技术与封装及可靠性,传感器与微系统的典型应用。
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