本书系统分析和详细描述了MEMS系统级建模中最重要的两种途径，即基于集总元件的物理建模和采用模型降阶方法的数学建模，可以有效实现单个MEMS器件与整个系统的联合仿真。同时，也对MEMS系统级模拟的软件实现进行了比较详尽地分析和介绍。